时监测数据，声音带着些许慌乱：“王总，是光学镜头的温度补偿模块出现异常！连续高负荷运转后，镜头热胀冷缩导致光路偏移，现在偏移量已经达到0.01微米，超出光刻允许的误差范围！”
沈院士眉头紧锁，扶着观察窗的手指微微收紧：“热稳定性还是没过关？极紫外光源的高能量特性本就容易导致部件发热，这是行业通病，但没想到会在这个节点爆发。”
楚千澜神色未变，目光紧紧锁定屏幕上跳动的偏移曲线：“别急，先切断光源输出，冷却设备后排查问题根源。”
张北光忽然说道，“这套光源的温度补偿算法是按实验室环境设计的，量产场景下的持续发热超出预期，必须优化散热结构和算法参数。”
王世杰立即下达指令，技术人员迅速响应，关闭光源，启动强制冷却系统。
淡紫色的光束逐渐熄灭，设备发出的嗡鸣也慢慢减弱，控制面板上的温度数值开始缓慢下降。
王世杰擦了擦额头的冷汗，语气带着些许后怕，“我们之前的测试时长最多只有一小时，没考虑到连续量产时的持续发热问题。光学镜头的散热通道设计得太保守，热量无法快速导出。”
虽然还没有进行全面检查，但故障原因已经基本确认。
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