四月七日下午一时,清华大学李兆基科技大楼。
温知秋站在新建的“氢能先进材料与器件联合实验室”揭牌仪式现场,手里的剪刀还没落下,口袋里的加密手机就震动起来。震动模式三短一长——这是最高优先级警报。
她面不改色地剪断红绸,在掌声中与晏惟清握手合影,然后转身对助理低语:“仪式后面的环节你主持,我有急事。”
五分钟后,实验室隔壁的临时办公室。
温知秋关上门,接通视频通话。屏幕那头是“华夏芯”上海14nm产线的厂长徐砺,五十多岁的老工程师,此刻脸色煞白。
“温董,出事了。”徐砺的声音发紧,“三小时前,产线突然出现批次性异常。第7区到第9区的晶圆,光刻对准精度偏差超过纳米,超出了工艺容限三倍。”
“停机了吗?”温知秋问。
“第一时间停了。”徐砺调出监控画面,“但诡异的是,所有设备自检报告都显示正常。我们查了温度、湿度、震动、电源波动——全部在标准范围内。就像……就像有人把设备的‘感知’篡改了,让它‘觉得’自己一切正常,实际上已经出了偏差。”
温知秋心头一沉:“多少片受影响?”
“已经生产的三千片晶圆,初步检测有四百片废品。”徐砺报出数字,“按每片成本八千元算,直接损失三百二十万。关键是……我们找不到原因,就不敢重启产线。停产一天,损失两千万。”
“我三小时后到。”温知秋挂断电话,转身就往外走。
助理追上来:“温董,下午还有和褚砚舟教授的签约仪式……”
“推迟。”温知秋脚步不停,“通知技术副总裁陆行舟、首席安全官靳砚,带团队立刻飞上海。另外,联系国家工业信息安全发展研究中心,请求支援。”
“要不要报告林主任?”
温知秋在电梯前停下,沉默了两秒:“先查清楚是什么问题。如果是普通故障,不用惊动他。如果……”她没说下去,但眼神冷了下来。
电梯门关闭,下行。
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同日下午四时多,上海浦东张江科学城,“华夏芯”14nm产线园区。
温知秋的车队驶入厂区,园区内的气氛却异常凝重。保安数量比平时多了一倍,所有进出人员必须经过双重核验。
产线洁净室内,温度恒定在22摄氏度,湿度控制在45%。工人们穿着全套防尘服,像一群白色的幽灵,在自动化设备间默默穿梭。但此刻,所有设备都处于停机状态,只有警示灯在无声闪烁。
徐砺带着温知秋走到第7区光刻机前。这台机器价值亿元,来自荷兰阿斯麦,是产线的核心设备之一。屏幕上显示着最后一次运行的参数记录——全部绿色,全部“正常”。
“就是这里。”徐砺调出晶圆检测报告,“我们抽检了第7区今天上午生产的五十片晶圆,有四十一片的光刻层存在纳米级错位。但光刻机自己的校准记录显示,每次曝光前都对得准准的。”
温知秋俯身查看设备日志。她是学材料出身的,对精密制造不算精通,但多年产业经验让她养成了看数据的直觉。日志很干净,太干净了——每个时间点的参数变化都平滑得不像话,就像有人精心修饰过。
“陆行舟到了吗?”她问。
“到了,在数据中心。”徐砺说。
五分钟后,数据中心。
陆行舟,四十二岁,“华夏芯”技术副总裁,斯坦福电子工程博士,专攻半导体工艺控制。他正盯着大屏幕上滚动的数据流,眉头拧成了疙瘩。旁边站着靳砚,三十八岁的前军方网络安全专家,三年前被温知秋挖来负责企业安全。
“温董。”陆行舟没回头,手指在键盘上快速敲击,“我分析了三个小时,可以确定——这不是设备故障,是数据污染。”
“具体说。”
“有人在我们的工艺控制系统中,植入了一种‘寄生式’攻击程序。”陆行舟调出一段代码,“你看这里——正常的光刻对准指令是‘ALIGN_X=,ALIGN_Y=’。但攻击程序会在这个指令发出后,偷偷加上一个微小的偏移量,比如‘ALIGN_X=,ALIGN_Y=’。这个偏移量正好在设备传感器的噪声范围内,所以设备自检发现不了。”
温知秋盯着那行代码:“纳米……正好是我们工艺容限的临界值。”
“对。”陆行舟点头,“攻击者非常懂行。他知道偏移
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